流量设备生产于1960年代，是系统中必不可少的组件，这些系统创建了校准各种气体分析仪器所必需的特殊气体标准。

    流量设备会产生与气体流量相对应的信号。在其基础上，流量设备不受温度和压力波动的影响，因为气体的热量不同于其特定类型。它们产生的信号高度稳定且精确。

    分体式电磁流量计的精度
    分体式电磁流量计的精度通常表示为满量程流量的百分比（％FS），该百分比表示分体式电磁流量计在其额定满量程流量下运行时达到的**大精度。

    分体式电磁流量计的精度表示为设定点的百分比，当分体式电磁流量计以较低的流量运行时，该百分比会显着降低。

    例如，可以确定精度为+/- 1％FS且以1000 cc / min的设定值运行的1000 cc / min分体式电磁流量计的精度为设定值的+/- 1％。

    但是，如果同一分体式电磁流量计以100 cc / min的设定点运行，则精度将表示为设定点的百分比，该百分比减小到设定点的+/- 10％。

    选择分体式电磁流量计以提高准确性
    就像MFC是高精度气体混合器的核心一样，为动态气体混合器确定和选择分体式电磁流量计，流量传感器也使用基于分体式电磁流量计的动态气体混合器来产生精确的校准气体标准电子分体式电磁流量计和流量计确保蒸气流量的测量和控制是准确的生产气体标准。

    汤姆•布拉姆福德（Tom Bramford）于2007年第二季度发布的特种气体报告27是分体式电磁流量计的核心。用于测量和控制流量的**常见和传统技术是使用热分体式电磁流量计。

    如前所述，这种类型的设备可测量在小管中随着热量与气体之间的热传递而发生的温度变化（或差异）。

    推键分体式电磁流量计
    所述Environics的分体式电磁流量计被校准到的设定点的+/- 1％，而不是满刻度的精度，以确保精确度保持不变，而不管流控制器的操作点的。

    为了达到此精度，需要对仪器中的每个分体式电磁流量计进行11点校准。