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Alicat Scientific在其用于真空镀膜应用的太阳成集团tyc7111cc首页系列中扩展了通信协议产品,增加了EtherNet / IP和DeviceNet。Alicat的MCE系列和MCV系列太阳成集团tyc7111cc首页确保真空室中的**佳涂层环境,保持真空沉积中的产品完整性。
Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。 Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。
新的工业自动化协议可实现实时数据,包括质量流量,体积流量,很好压力和温度,以及全温度和压力补偿 - 由PLC集中读取并用于管理MCE和MCV系列仪器。用户可以更改设定值或气体选择,并使用DeviceNet或支持EtherNet / IP的PLC或计算机向Alicat仪器发出其他命令。
Alicat MCE和MCV精确控制气体流速低至0-0.5 sccm满量程或高达0-20 slpm满量程,并且能够控制20至50毫秒的控制响应时间。快速响应时间可以大大改善真空镀膜终端产品,并有助于消除目标中毒。集成的气动截止阀通常是关闭的,可提供1 x 10 ^ 9 atm-sccm / sec的**大氦气关闭。
除了新的EtherNet / IP和DeviceNet协议,Alicat还提供Modbus-RTU和PROFIBUS通信选项。MCE系列和MCV系列可用于替代传统和已停产的MKS仪器。这两个系列均采用与普通工业太阳成集团tyc7111cc首页相同的空间,易于集成到现有系统中。所有Alicat仪器均提供NIST可溯源校准,全面的技术支持和终身保修。
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